2020上海科技节期间，由上海市科学技术委员会和上海广播电视台联合出品，上海广播电视台融媒体中心精心打造的9集大型科技访谈节目《未来说：执牛耳者》第四季，每晚20:00正在上海电视台新闻综合频道连续播出中，17位上海科技界的“执牛耳者”一一入镜晚间黄金时段的上海荧屏，与广大观众分享最前沿的先锋科研成果，讲述热爱与坚守的科学探索故事，展现上海科学家们果敢勇毅、冲锋陷阵、奉献求索的科研精神。

《执牛耳者第四季第七集：细“治”入微》邀请到生信科技用户中微半导体设备（上海）股份有限公司董事长兼总经理尹志尧博士。为大家讲诉中微半导体公司研发的等离子体刻蚀机。

关于中微半导体

中微半导体设备（上海）股份有限公司（证券简称“中微公司”，证券代码“688012”）是一家以中国为基地、面向全球的微观加工高端设备公司，为集成电路和泛半导体行业提供极具竞争力的高端设备和高质量的服务。

中微开发的等离子体刻蚀设备和化学薄膜设备是制造各种微观器件的关键设备，可加工微米级和纳米级的各种器件。这些微观器件是现代数码产业的基础，它们正在彻底改变人类的生产方式和生活方式。

中微总部位于上海，聚焦亚洲，并为全球的客户提供技术和设备的解决方案。作为制造和创新的中心，中国和亚洲具有得天独厚的优势和高速成长的市场，而这使中微有无限广阔的发展前景。

在中微员工的创新激情、多年的齐心奋斗和合作共赢的精神指引下，中微已经成为一家快速成长的微观加工设备公司，在技术创新、产品优化和市场准入方面取得了重大突破，赢得了众多客户和供应厂商的信任和支持，成为国际半导体微观加工设备产业极具竞争力的一颗新星。

中微半导体做了什么

中国力图在芯片领域谋求突破，已经努力了几十年。一片指甲盖大小的集成电路芯片，需要上百道工艺，等离子体刻蚀机是芯片制造最重要的微观加工核心设备之一，加工精度在纳米级，没有刻蚀机就无法制造芯片。2004年已经和半导体打了二十多年交道，作为几代等离子体刻蚀技术及设备的主要发明人和工业化应用推动者的尹志尧，在上海浦东金桥创办了中微半导体公司。他率领团队短时间内就让我国突破了国际刻蚀机的技术垄断。经过十几年的钻研打拼，如今中微公司已开发出能生产五纳米器件的设备。这几乎是目前人类能够在大生产线上制造出的最小的集成电路布线间距，已经与世界最前沿技术比肩，为我国自主研发芯片奠定了技术基础。通过尹志尧博士的介绍我们了解到刻蚀机可以刻到五纳米，所谓五纳米（用人的头发丝作为比喻，头发丝大概平均是0.07mm，七纳米是头发丝的一万分之一，五纳米比一万分之一还小），一定要用蕞高倍的电子显微镜把它放大一百万倍才能看到它的结构（集成电路芯片）。研发制作非常精密的微观加工设备，牵扯到大概五十个学科工种，包括物理、数学、化学等，几乎所有的工程技术集成起来才能把这样的高精尖设备做好。国际上能够做到这样的高精尖设备的公司算起来也只有四五家。